Ионный источник

SPECS IQE 12/38

IQE 12/38 ионный источник установлен на поворотном фланце DN38CF (2 3/4” O.D.). Со стандартным расстоянием фланец-образец 186 мм, что соответствует рабочему расстоянию 23 мм, он генерирует пучок с током 0.8 мкA и размером пятна 125 мкм. Двухлинзовая система позволяет легко менять размер пятна, варьируя его от 125 мкм до 1000 мкм. В зависимости от размера пятна, плотность тока варьируется 1-4 мA/см2. Использование IQE 12/38 при больших расстояниях фланец-образец (с большим расстоянием апертура-образец) тоже обеспечивает хорошие результаты. Рабочий диапазон не ограничивается стандартными 0.2 - 5 кэВ, а благодаря компактному исполнению и углом установки 50° он идеально подходит для работы в ограниченном пространстве. Катод накала не находится на одной линии с образцом, что минимизирует его загрязнение. Катод легко извлекается и имеет большой срок службы, что позволяет самостоятельно производить сервис и делает использование источника экономичным.

Особенности:

​

• Тонкая фокусировка

• Высокий ток ионов

• Широкий диапазон энергий

• Большая область сканирования

• Дифференциальная откачка

• Большая область сканирования

• Работа с активными газами

Технические характеристики:

• Ток пучка: ≥ 0.8 мкA при пятне 125 мкм; ≥ 8 мкA при пятне 800 мкм (при 5 кэВ, Ar+)

• Двухлинзовая система для легкого изменения размера пятна

• Высокая плотность тока, 1-4 мA/см2

• Широкий диапазон энергий 0.2-5 кэВ

• Большая область сканирования 10 x 10 мм2

• Корректирование при сканировании наклоненных образцов

• Дифференциальная откачка

• Рабочее давление до 10-8 мбар

• Работа с активными газами (напр. кислород)