
Ионный источник
SPECS IQE 12/38
IQE 12/38 ионный источник установлен на поворотном фланце DN38CF (2 3/4” O.D.). Со стандартным расстоянием фланец-образец 186 мм, что соответствует рабочему расстоянию 23 мм, он генерирует пучок с током 0.8 мкA и размером пятна 125 мкм. Двухлинзовая система позволяет легко менять размер пятна, варьируя его от 125 мкм до 1000 мкм. В зависимости от размера пятна, плотность тока варьируется 1-4 мA/см2. Использование IQE 12/38 при больших расстояниях фланец-образец (с большим расстоянием апертура-образец) также обеспечивает высокие результаты. Рабочий диапазон не ограничивается стандартными 0.2 - 5 кэВ, а благодаря компактному исполнению и углу установки 50° он идеально подходит для работы в ограниченном пространстве. Катод накала не находится на одной линии с образцом, что минимизирует его загрязнение. Катод легко извлекается и имеет большой срок службы, что позволяет самостоятельно производить его замену и делает использование источника более экономичным.

Особенности:
-
Тонкая фокусировка
-
Высокий ток ионов
-
Широкий диапазон энергий
-
Большая область сканирования
-
Дифференциальная откачка
-
Работа с активными газами
Технические характеристики:
-
Ток пучка: ≥ 0.8 мкA при пятне 125 мкм; ≥ 8 мкA при пятне 800 мкм (при 5 кэВ, Ar+)
-
Двухлинзовая система для легкого изменения размера пятна
-
Высокая плотность тока, 1-4 мA/см
-
Широкий диапазон энергий 0.2-5 кэВ
-
Большая область сканирования 10 x 10 мм
-
Корректирование при сканировании наклоненных образцов
-
Дифференциальная откачка
-
Рабочее давление до 10 мбар
-
Работа с активными газами (напр. кислород)


-8
2
2