Ионный источник

SPECS IQE 12/38

IQE 12/38 ионный источник установлен на поворотном фланце DN38CF (2 3/4” O.D.). Со стандартным расстоянием фланец-образец 186 мм, что соответствует рабочему расстоянию 23 мм, он генерирует пучок с током 0.8 мкA и размером пятна 125 мкм. Двухлинзовая система позволяет легко менять размер пятна, варьируя его от 125 мкм до 1000 мкм. В зависимости от размера пятна, плотность тока варьируется 1-4 мA/см2. Использование IQE 12/38 при больших расстояниях фланец-образец (с большим расстоянием апертура-образец) также обеспечивает высокие результаты. Рабочий диапазон не ограничивается стандартными 0.2 - 5 кэВ, а благодаря компактному исполнению и углу установки 50° он идеально подходит для работы в ограниченном пространстве. Катод накала не находится на одной линии с образцом, что минимизирует его загрязнение. Катод легко извлекается и имеет большой срок службы, что позволяет самостоятельно производить его замену и делает использование источника более экономичным. 

Особенности:
  • Тонкая фокусировка
  • Высокий ток ионов
  • Широкий диапазон энергий
  • Большая область сканирования
  • Дифференциальная откачка
  • Работа с активными газами
Технические характеристики:
  • Ток пучка: ≥ 0.8 мкA при пятне 125 мкм; ≥ 8 мкA при пятне 800 мкм (при 5 кэВ, Ar+)
  • Двухлинзовая система для легкого изменения размера пятна
  • Высокая плотность тока, 1-4 мA/см
  • Широкий диапазон энергий 0.2-5 кэВ
  • Большая область сканирования 10 x 10 мм
  • Корректирование при сканировании наклоненных образцов
  • Дифференциальная откачка
  • Рабочее давление до 10  мбар
  • Работа с активными газами (напр. кислород)

-8

2

2

SPECS-TII Rus    |  123001, Moscow, Bolshaya Sadovaya str., 5   |      Tel.: +7 (495) 920-90-05     |     E-mail: info@specs-tii.ru