Ионный источник

SPECS IQP 10/63

IQP 10/63 - это надежный ионный источник с высоким ионным током до 50 мкА, переменной энергией ионов 0 - 6 кэВ, плоским профилем пучка и большой площадью распыления. Он подходит для реактивных газов и может поставляться с полной системой напуска газа.

Особенности:
  • Ионный источник типа Пеннинга с холодным катодом
  • Высокий ионный ток
  • Плоский профиль пучка
  • Большая площадь распыления
  • Удобен для работы с реактивными газами
Технические характеристики:
  • Типичный ток ионного пучка 20 мкА при 3 кэВ (Ar)
  • Максимальный ионный ток, до 50 мкА
  • Очень плоский профиль пучка > 10 mm
  • Большая площадь распыления 8 - 20 мм
  • Плоскостность пучка 5% на 60% диаметра
  • Максимальная плотность тока пучка 150 мкА / см
  • Переменная энергия ионов 0 - 6 кэВ
  • Высокая долговременная стабильность
  • Парциальное давление во время распыления
    в диапазоне 10   мбар
  • Отжигается до 400 ° C после удаления магнита
  • Минимальный диаметр пучка 100 мкм
  • Вес 4 кг

2

-6​

SPECS-TII Rus    |  123001, Moscow, Bolshaya Sadovaya str., 5   |      Tel.: +7 (495) 920-90-05     |     E-mail: info@specs-tii.ru